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回收废硅片 如果硅单晶晶棱比较清晰且对称时，可以用晶棱连线法方便地确定其主参考面方位。 ①晶棱与花瓣位置的对应关系 晶棱即硅单晶的生长线。 100）硅单晶有呈90。对称分布的四条晶棱； 111 硅单晶有三条晶棱，呈120。对称分布；而（110 硅单晶只有两条晶棱，呈180。对称分布。 如前所述可以看到，硅单晶晶棱和其相应晶面反射光图的花瓣数目及分布对应相同，问有确定的对应关系吗？答案是肯定的。图1-8显示了硅单晶晶棱和相应晶面反射光图花瓣的对应关系。对于（100 硅单晶，无论是晶体头端还是尾端{IOO}面，其反射光图的花瓣位置与晶棱位置一致，如图1-8 (a)所示；（110 硅单晶头端和尾端其反射光图花瓣伍賢晶棱位置也一致，如图1-8(b)所示；但是（111 硅单晶的情形就不同了， 111 硅单晶尾端(111，面的反射光图花瓣位置与晶棱位置一致，如图1-8(c)所示；头端ci面的反射光图花瓣位置与晶棱位置就错开了60。，如图1-8（山所示。 ②用晶棱连线法确定主参考面方位 清楚了硅单晶反射光图花瓣与晶棱的对应关系，就不难确定主参考面位置了。 再来看看图1-8，图中虚线标示的位置为主参考面方位， (IOO)和(111)晶面上标示的位置为(1 10)，(110)晶面上标示的位置为(111)。(110)晶面的硅片使用比较少，国标没有对其主参考面方位作统一规定，通常视用户要求而制作。 从图1-9可以看出， 100 硅单晶柱面上（图中圆周上）对称分布的四个{110}面恰好正处于硅单晶晶棱所在处。其中任何一个平面都可以作为主参考面的制作方位，面向 ioo 硅单晶任一端面，连接互为180。的两条晶棱，在连线的任一端作其垂线，即为主参考面位置。 iio）硅单晶柱面上对称分布的两个{110}面。 如图1-10所示， 111）硅单晶的柱面上对称分布有六个{110}面，但是只有其中的三个可以作为主参考面方位。采用光图定向法时，根据其光图位置可以进行分辨判断；用晶棱法也同样可以达到目的。首先连接任意两条晶棱，对于晶体尾端(111)面，转动晶体使此连线竖直位于端面偏左位置，如图1-11(a)；如果是晶体头端(111)面，则使此连线竖直位于端面偏右位置，见图1-ll(b)。在此连线的下部作垂线，垂线位置即为 111 硅单邑晶主参考面(11 0)方位，如图1-11所示。 硅单晶生产出来后，其头尾通常会加以标识，此外也可以从晶棱的特征来确定。晶棱即硅单晶的生长线，仔细观察硅单晶晶棱，可以看到它由若干细小的短曲线构成，从曲线弯曲的方向可以分辨硅单晶的头尾，即(111)面或（了了1）面。如图1-11(c)所示，短曲线面朝向为（111 方向，即晶体尾端，反之凹面朝向为 111 方向，即晶体头端。 回收废硅片晶棱连线法简单直观，但是其精确度不高。尤其是当晶体上的晶棱不清楚或是看不到时，此方法显然不适用，如果尚能分清晶体头尾，则还可以利用X射线衍射定向法来确定其主参考面方位，X射线衍射定向法精确度高，经常用于硅单晶主参考面的检查校对及其修正。X射线衍射定向的原理与操作方法将在硅单晶切割章节中再行讨论。 (3)副参考面方位 主参考面方位确定后，副参考面方位只需根据硅单晶的型号、晶向等按标准规定的角度位置确定即可，如图1-4所示。 本文出自：http://zhangpu.zz91.com/

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